Роторна система
Захранващата сърцевина на сухата вакуумна помпа е прецизно монтиран роторен възел, обикновено състоящ се от два до три спирални или -образни ротора. Тези високо-прецизни метални ротори се зацепват един с друг с микронни-просвети, като използват насрещно-въртене, за да задвижат газ от входния порт към изпускателния порт. Уникалният дизайн на профила на роторите-като профили на еволвентни или кръгли дъги-определя ефективността на изпомпване; скоростта на въртене може да достигне 3000–6000 rpm, а коефициентът на компресия на един-етап може да надхвърли 10:1.
Уплътнителна структура
За разлика от маслените-запечатани помпи, сухите помпи поддържат целостта на вакуума чрез три-механизъм за уплътняване:
Лабиринтни уплътнения: Много{0}}етапни, извити канали, разположени в краищата на ротора, използват съпротивлението на въздушния поток, за да блокират изтичането.
Газова бариера: Инертен газ се инжектира в критичните хлабини, за да се създаде пневматична бариера под налягане.
Специализирани покрития: Повърхностите на ротора са покрити с материали като PEEK (полиетер етер кетон), който осигурява както устойчивост на износване, така и намален коефициент на триене.
Тези конструктивни характеристики поддържат скоростта на изтичане под 0,5 Pa·m³/s, като по този начин отговарят на строгите изисквания за чистота на индустрии като производството на полупроводници.
Охлаждащ модул: „Температурният пазител“ за непрекъсната работа
Поради липсата на смазване-базирано на масло, сухите помпи изискват интелигентна система за управление на топлината:
Въздушно охлаждане: Перките за разсейване на топлината от алуминиева сплав, съчетани с центробежен вентилатор, разсейват до 60% от генерираната топлина.
Водно охлаждане: Вътрешна медна{0}}тръбна циркулационна верига осигурява ефективност на топлообмен, която е три пъти по-висока от тази на въздушното охлаждане.
Фаза-Промяна на охлаждане: Някои модели използват технология на топлинна тръба, постигайки коефициент на топлопроводимост до 100 пъти по-висок от този на чистата мед.
