Сухите вакуумни помпи основно приемат следните форми:
Тип двоен{0}}лоб
Дизайнът на двулопастния-тип е много подобен на този на помпата Roots, която в момента е най-популярният и широко използван тип. Всъщност, някои от най-ранните концепции за сухи конструкции на помпи включваха основно подреждане на няколко помпи Roots заедно. Този много{3}}етапен дизайн води до доста сложен път на газовия поток и всеки етап изисква значителен поток от азотен газ, който да служи както като разредител, така и като бариера. Освен това, за да се постигне висока степен на вакуум, са необходими изключително строги допуски по отношение на хлабините между етапите. Разбира се, тъй като този дизайн увеличава вътрешното съотношение на компресия, неговата консумация на енергия е относително ниска.
Три{0}}тип лоб
Принципът на работа на три-лобовия тип е идентичен с този на дву-лобовия тип; единствената разлика е, че по време на едно завъртане газът се разделя на три отделни пакета-а не на два, какъвто е случаят с дизайна с двоен-лоб. Следователно, тези два дизайна споделят еднакъв набор от предимства и недостатъци. За допълнително намаляване на консумацията на енергия, някои производители избират да използват два DC мотора в задвижващия механизъм; този подход обаче също води до намален въртящ момент и намален капацитет за рестартиране на помпата. Както при дизайна с двойни-лопатки, всеки етап от дизайна с три-лопатки изисква значителен поток от азотен газ за изпълнение на функциите на разреждане и изолиране.
Хибриден тип (корени + нокът)
Хибридният (Roots + Claw) дизайн използва етап Roots за подобряване на ефективността на изпомпване при по-ниски нива на налягане, докато използва етап Claw за повишаване на ефективността при по-високи нива на налягане. Неговите основни принципи на работа и пътя на газовия поток са идентични с тези на гореспоменатите конструкции от лоб-тип. Някои производители обаче избират да заменят крайния етап с дизайн тип „звезда-“; тази конфигурация позволява газът да бъде разделен на пет отделни пакета на въртене-много по същия начин, по който три-дизайнът на лопатките го разделя на три. По същия начин, в много сложни процесни приложения, всеки етап от хибридния дизайн изисква значителен поток от азотен газ, който да служи като разредител и бариера.
Тип външен компресионен винт
Конструкцията с външен компресионен винт-използва чифт равноотдалечени винтове. Тази конфигурация минимизира вътрешната компресия, като същевременно създава възможно най-късия и прост път на газовия поток. Следователно времето на престой на газа в камерата на помпата се поддържа до абсолютен минимум. Въпреки че този дизайн води до относително по-висока консумация на енергия поради намаленото вътрешно съотношение на компресия, той демонстрира изключителна стабилност и надеждност в широк диапазон от сложни процеси за производство на полупроводници. Този едно-етапен дизайн налага минимални и прости изисквания по отношение на консумацията на азот, като по този начин осигурява отлична взаимозаменяемост в различни процеси. В много чисти процеси използването на азот може дори да бъде напълно премахнато.
Винтови помпи с вътрешно компресиране
Освен използването на чифт не-изопараметрични винтове, основните принципи на работа на конструкцията на винтовата помпа с вътрешно компресиране са много сходни с тези на конструкцията на винтовата помпа с външно компресиране. Постоянното намаляване на обема между винтовете генерира вътрешна компресия. Като улеснява тази вътрешна компресия, този дизайн намалява консумацията на енергия до ниво, сравнимо с това на много-степенните помпи. Въпреки това, в много процеси-подобно на много{6}}стъпалните помпи-тази вътрешна компресия е силно предразположена към предизвикване на физикохимични промени в газа в тялото на помпата, което потенциално води до втвърдяване или втечняване.
