Сухите механични вакуумни помпи имат широк спектър от приложения, предимно в следните области:
В процеса на приготвяне на полисилиций в системи за химическо отлагане на газове при ниско-налягане (LPCVD);
В процеси на ецване на полупроводници. Тези производствени процеси често включват използването или генерирането на корозивни газове и абразивни частици;
В някои-процеси за генериране на частици-извън полупроводниковата индустрия-където е нежелателно частиците да се смесват с маслото на помпата и вместо това е желателно те да бъдат изхвърлени от помпата; могат да се използват специфични видове сухи механични вакуумни помпи, за да се изпълнят тези изисквания;
При операции по дестилация, сушене, обезгазяване и опаковане в химическата, фармацевтичната и хранително-вкусовата промишленост, където е необходимо да се предотврати замърсяване от органични разтворители, сухите вакуумни помпи са подходящият избор;
Като пред-помпи (обработващи помпи) в общи-безмаслени чисти вакуумни системи, за предотвратяване на замърсяване с масло.
